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대학 국가전략기술 정보
기술도입 신청
기술도입 상담 절차
상담이 접수되면, 대학이 대상 기술을 선별하여 기업에 정보 제공 후, 기술도입 상담을 진행합니다.
① 상담신청(기업)
② 수요공유(전국 대학)
③ 기술정보 제공(대학→기업)
④ 기업-대학 상담
한국연구재단 기술사업화센터 서용태 변리사 Email. ytseo@nrf.re.kr Tel. 042-869-6409
선택된 기술
플라즈마 진단용 박막형 초고주파 진단기
한국기계연구원
10-2025-0144229
공개
H01J 37/32; H05H 1/00
수요기술 정보
수요기술명
전략기술 분류1
전략기술 분류1 선택
반도체·디스플레이 (A)
이차전지 (B)
첨단모빌리티 (C)
차세대 원자력 (D)
첨단 바이오 (E)
우주항공·해양 (F)
수소 (G)
사이버보안 (H)
인공지능 (I)
차세대 통신 (J)
첨단로봇·제조 (K)
양자 (L)
기타 (M)
전략기술 분류2
전략기술 분류2 선택
고집적, 저항기반 메모리 (A01)
고성능, 저전력 인공지능 반도체 (A02)
전력반도체 (A03)
반도체 첨단패키징 (A04)
차세대 고성능센서 (A05)
프리폼 디스플레이 (A06)
무기발광 디스플레이 (A07)
반도체, 디스플레이 소재, 부품, 장비 (A08)
반도체·디스플레이 기타 (A99)
활용계획
수요내용
【 도입 희망 기술 정보 】 · 기술명: 플라즈마 진단용 박막형 초고주파 진단기 · 출원기관: 한국기계연구원 · 출원번호: 10-2025-0144229 · 출원일: 2025-10-01 · 법적상태: 공개 · IPC 분류: H01J 37/32; H05H 1/00 【 기술 요약 】 플라즈마 진단용 박막형 초고주파 진단기는 플라즈마가 발생하는 공간으로 위치하여 플라즈마를 진단하고, 베이스 기판 및 전극유닛을 포함한다. 상기 전극유닛은 상기 베이스 기판 상에 형성되고, 신호선부 및 접지라인을 포함한다. 상기 신호선부는 상기 플라즈마가 발생하는 공간에 노출되며 신호를 검출하는 송수신부, 및 상기 송수신부로부터 연장되어 외부로 검출 신호를 전달하는 신호라인을 포함한다. 상기 접지라인은 상기 신호선부와 이격되도록 상기 신호선부가 형성된 베이스 기판의 면(面)과 동일한 면(面)에 형성되며, 상기 신호선부의 연장 방향을 따라 연장된다. 【 도입 계획 및 활용 목적 】 (도입 후 활용 계획을 자세히 입력해주세요.)
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