요약본 발명은 광소자용 구조물 및 그의 제조 방법에 관한 것으로, 외부로부터 제공되는 열 에너지에 의해 나노 입자가 생성되는 광산란층, 상기 광산란층을 보호하는 보호층 및 상기 광산란층과 상기 보호층 사이에 형성된 캡핑층을 포함한다. 광산란층을 질화물-산화물로 형성함으로써 에너지 갭이 커져 고속의 전자회로에 유리하고, 정량비를 쉽게 만들 수 있다. 또한, 상기 캡핑층에 의해 결정학적인 미스매치가 방지됨으로써 성분 불균일을 방지하여 화학 양론적인 상태를 유지한다. 따라서 박막의 균일성 및 재현성이 우수한 고집적 및 고속의 전자회로를 용이하게 구현할 수 있다. 광산란, 나노 입자, 질화물-산화물, 캡핑층, 투과도
