- 요약 본 발명은 고진공 상태에서 측정 샘플의 물리적 특성을 측정하기 위한 시스템에 관한 것으로서, 고진공 상태에서 측정 샘플의 물리적 특성을 측정하기 위한 다기능성 진공 측정 시스템에 있어서, 진공 챔버; 상기 진공 챔버 내에 형성되는 그리드 전극; 상기 진공 챔버의 일면을 관통하도록 형성된 피드스루를 통하여 상기 그리드 전극에 전압을 인가하기 위한 고전압 전원; 상기 진공 챔버를 배기시키기 위한 터보 펌프; 상기 측정 샘플이 장착되고 상기 진공 챔버 내에 삽입된 상태에서 상기 측정 샘플의 물리적 특성을 측정하기 위한 음극부로서의 샘플 프루브; 및 액체 냉매가 상기 샘플 프루브를 관통하도록 공급되기 위한 액체 냉매 순환로를 포함하여 이루어지고, 상기 샘플 프루브는, 상기 측정 샘플을 장착한 상태에서 상기 진공 챔버의 진공도에 영향을 주지 않으면서 상기 진공챔버로부터 탈착가능하도록 구성된 것을 특징으로 한다. 진공 챔버, CNT(carbon nanotube), 전계 방출 특성, DAQ
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