• 요약 본 발명은 잉크젯 프린팅을 이용한 미세 패턴 제조 방법 및 패턴 구조체를 개시한다. 본 발명의 미세 패턴 제조 방법은 음각의 패턴이 형성된 마스크를 준비하는 단계; 잉크젯 프린팅을 통해 상기 마스크에 형성된 패턴을 따라 액상의 충전 물질을 주입시키는 단계; 상기 액상의 충전 물질이 주입된 마스크 위에 점착층을 도포하는 단계; 상기 점착층 위에 기판을 적층하는 단계; 및 상기 마스크를 제거하는 단계를 포함한다. 본 발명에 따르면 기존의 감광성 용액과 노광을 통해 패턴을 형성함에 따른 환경 오염 문제를 극복할 수 있고, 패턴 형성에 필요한 재료 이외에는 추가적인 재료가 불필요하므로 기존의 나노 임프린트 방식과 비교할 때 생산 원가의 절감과 공정의 간략화 측면에서 유리하며, 미리 형성된 음각의 홈에 액상의 재료를 분사하기 때문에 직진성이 향상된다. 잉크젯 프린팅, 임프린트, 나노 패턴
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  • 전략기술 분류 첨단로봇·제조
    K1

  • 특허 강도 지표
    10
    청구항
    7
    인용
    0
    패밀리

  • 출원번호 10-2008-0014868 KIPRIS
  • 출원일 2008-02-19
  • 공개번호 10-2009-0089610
  • 공개일 2009-08-24
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  • 현재 상태 출원공개

  • IPC 코드 H10P 76/00; B82Y 40/00

  • 대리인 특허법인우인
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