NRF-TCC : 한국연구재단 기술사업화센터

요약 본 발명의 일 실시예에 따른 거대 결정을 갖는 금속 산화물 박막 제조방법은 기판 상에 비정질 시드층을 형성하는 단계 및 상기 비정질 시드층 상에 상기 비정질 시드층의 두께에 대응되는 크기의 결정립을 갖는 금속 산화물층을 형성하는 단계를 포함할 수 있다.

대표 도면

R&D 프로젝트 전자정보디바이스산업원천기술개발

심판 위험 분석 심판 이력 없음

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인용문헌
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전략기술 분류 첨단로봇·제조
K1
특허 강도 지표

12

청구항

7

인용

0

패밀리
출원번호 10-2015-0037964 KIPRIS
출원일 2015-03-19
공개번호 10-2016-0112348
공개일 2016-09-28
등록번호
등록일
현재 상태 재심사
IPC 코드 H10P 10/00
대리인 김 순 영; 김영철
심사관
원문 보기 KIPRIS 원문