- 요약 본 발명은 P형 실리콘 나노 와이어 어레이; 및 상기 나노 와이어 어레이 표면에 형성된 수소화 촉매를 포함하는 수소 센서 및 이의 제조방법에 관한 것이다.
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대표 도면
- R&D 프로젝트 중점연구소지원사업; (R&D 사업) 공공 R&D 성과 및 기술나눔 이전 기술의 상용화 개발 지원
- 심판 위험 분석 심판 이력 없음
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