• 요약 본 발명은 P형 실리콘 나노 와이어 어레이; 및 상기 나노 와이어 어레이 표면에 형성된 수소화 촉매를 포함하는 수소 센서 및 이의 제조방법에 관한 것이다.
  • 대표 도면
  • R&D 프로젝트 중점연구소지원사업; (R&D 사업) 공공 R&D 성과 및 기술나눔 이전 기술의 상용화 개발 지원
  • 심판 위험 분석 심판 이력 없음
  • 청구항 전체 (11건)
    청구항 1

    1. P형 실리콘 나노 와이어 어레이; 및 상기 나노 와이어 어레이 표면에 형성된 수소화 촉매를 포함하고,상기 수소화 촉매는 팔라듐(Pd), 백금(Pt), 로듐(Rd), 알루미늄(Al), 니켈(Ni), 망간(Mn), 몰리브덴(Mo), 마그네슘(Mg) 및 바나듐(V)으로 이루어진 군으로부터 선택된 하나 이상의 금속을 포함하고,수소 노출 후, 상기 수소화 촉매는 금속 하이드라이드(MHx)로 환원되어, 상기 나노 와이어 어레이 내부 정공을 중성화시키는 것을 특징으로 하는 수소 센서.

    청구항 2

    2. 제1항에 있어서,상기 나노 와이어 어레이는 3족 원소가 도핑된 것인수소 센서.

    청구항 3

    3. 제2항에 있어서,상기 3족 원소의 도핑량은 1011개/cm3 내지 1020 개/cm3인 수소 센서.

    청구항 4

    4. 제1항에 있어서,상기 나노 와이어 어레이의 비저항값은 0.001Ω㎝ 내지 10,000Ω㎝인수소 센서.

    청구항 5

    5. 삭제

    청구항 6

    6. 삭제

    청구항 7

    7. 제1항에 있어서,상기 수소 센서는 수소 노출 후, 상기 나노 와이어 어레이 및 상기 수소화 촉매의 계면에 쇼트키 접촉(Schottky contact)을 형성하는 수소 센서.

    청구항 8

    8. 제1항에 있어서,상기 수소 센서는 1% 수소 노출을 기준으로, 하기 수학식 1의 민감도(sensitivity)는 1% 이상인수소 센서:[수학식 1]민감도(sensitivity)(%) = ((R1 - R0)/R0) × 100%상기 R1은 수소 노출 후 최대 저항값이고, R0는 수소 노출 전 저항값이다.

    청구항 9

    9. (a) P형 실리콘 웨이퍼를 에칭하여 P형 실리콘 나노 와이어 어레이를 형성하는 단계; 및 (b) 상기 나노 와이어 어레이 표면에 수소화 촉매를 증착시키는 단계를 포함하고,상기 수소화 촉매는 팔라듐(Pd), 백금(Pt), 로듐(Rd), 알루미늄(Al), 니켈(Ni), 망간(Mn), 몰리브덴(Mo), 마그네슘(Mg) 및 바나듐(V)으로 이루어진 군으로부터 선택된 하나 이상의 금속을 포함하고,수소 노출 후, 상기 수소화 촉매는 금속 하이드라이드(MHx)로 환원되어, 상기 나노 와이어 어레이 내부 정공을 중성화시키는 것을 특징으로 하는 수소 센서의 제조방법.

    청구항 10

    10. 제9항에 있어서,상기 (a) 단계에서 에칭은 질산은(AgNO3) 및 불산 함유 용액을 이용하되, 상기 불산 100ml에 대하여, 상기 질산은(AgNO3) 0.25g 내지 1g을 포함하는 수소 센서의 제조방법.

    청구항 11

    11. 제9항에 있어서,상기 (a) 단계에서 에칭은 50℃ 내지 70℃에서 수행되는수소 센서의 제조방법.

  • 인용문헌 (3건)
    문헌번호 국가 제목 출원인 날짜 유형
    KR20120808E0801
    KR20120808E0802
    KR20120808E0805
  • 전략기술 분류 첨단 바이오
    E1

  • 특허 강도 지표
    11
    청구항
    10
    인용
    8
    패밀리
    8
    권리이전

  • 출원번호 10-2016-0021533 KIPRIS
  • 출원일 2016-02-23
  • 공개번호
  • 공개일
  • 등록번호 10-1765-4120000
  • 등록일 2017-07-31

  • 현재 상태 연차료납부

  • IPC 코드 G01N 27/04; G01N 33/00; G01N 27/12; G01N 27/16

  • 대리인 특허법인이룸; 특허법인지평
  • 심사관 이경철

  • 원문 보기 KIPRIS 원문