- 요약 본 발명은 P형 실리콘 나노 와이어 어레이; 및 상기 나노 와이어 어레이 표면에 형성된 수소화 촉매를 포함하는 수소 센서 및 이의 제조방법에 관한 것이다.
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대표 도면
- R&D 프로젝트 중점연구소지원사업; (R&D 사업) 공공 R&D 성과 및 기술나눔 이전 기술의 상용화 개발 지원
- 심판 위험 분석 심판 이력 없음
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청구항 전체 (11건)
청구항 1
1. P형 실리콘 나노 와이어 어레이; 및 상기 나노 와이어 어레이 표면에 형성된 수소화 촉매를 포함하고,상기 수소화 촉매는 팔라듐(Pd), 백금(Pt), 로듐(Rd), 알루미늄(Al), 니켈(Ni), 망간(Mn), 몰리브덴(Mo), 마그네슘(Mg) 및 바나듐(V)으로 이루어진 군으로부터 선택된 하나 이상의 금속을 포함하고,수소 노출 후, 상기 수소화 촉매는 금속 하이드라이드(MHx)로 환원되어, 상기 나노 와이어 어레이 내부 정공을 중성화시키는 것을 특징으로 하는 수소 센서.
청구항 22. 제1항에 있어서,상기 나노 와이어 어레이는 3족 원소가 도핑된 것인수소 센서.
청구항 33. 제2항에 있어서,상기 3족 원소의 도핑량은 1011개/cm3 내지 1020 개/cm3인 수소 센서.
청구항 44. 제1항에 있어서,상기 나노 와이어 어레이의 비저항값은 0.001Ω㎝ 내지 10,000Ω㎝인수소 센서.
청구항 55. 삭제
청구항 66. 삭제
청구항 77. 제1항에 있어서,상기 수소 센서는 수소 노출 후, 상기 나노 와이어 어레이 및 상기 수소화 촉매의 계면에 쇼트키 접촉(Schottky contact)을 형성하는 수소 센서.
청구항 88. 제1항에 있어서,상기 수소 센서는 1% 수소 노출을 기준으로, 하기 수학식 1의 민감도(sensitivity)는 1% 이상인수소 센서:[수학식 1]민감도(sensitivity)(%) = ((R1 - R0)/R0) × 100%상기 R1은 수소 노출 후 최대 저항값이고, R0는 수소 노출 전 저항값이다.
청구항 99. (a) P형 실리콘 웨이퍼를 에칭하여 P형 실리콘 나노 와이어 어레이를 형성하는 단계; 및 (b) 상기 나노 와이어 어레이 표면에 수소화 촉매를 증착시키는 단계를 포함하고,상기 수소화 촉매는 팔라듐(Pd), 백금(Pt), 로듐(Rd), 알루미늄(Al), 니켈(Ni), 망간(Mn), 몰리브덴(Mo), 마그네슘(Mg) 및 바나듐(V)으로 이루어진 군으로부터 선택된 하나 이상의 금속을 포함하고,수소 노출 후, 상기 수소화 촉매는 금속 하이드라이드(MHx)로 환원되어, 상기 나노 와이어 어레이 내부 정공을 중성화시키는 것을 특징으로 하는 수소 센서의 제조방법.
청구항 1010. 제9항에 있어서,상기 (a) 단계에서 에칭은 질산은(AgNO3) 및 불산 함유 용액을 이용하되, 상기 불산 100ml에 대하여, 상기 질산은(AgNO3) 0.25g 내지 1g을 포함하는 수소 센서의 제조방법.
청구항 1111. 제9항에 있어서,상기 (a) 단계에서 에칭은 50℃ 내지 70℃에서 수행되는수소 센서의 제조방법.
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법적상태 이력 (10건)
2016-02-23특허출원 (PA0109)
특허를 받고자 하는 자는 특허가 담은 발명에 대한 서류를 작성한 특허출원서를 특허청장에게 제출하여야한다.
2016-02-23심사청구 (PA0201)특허출원 이후 3년 이내에 특허청장에게 그 특허출원에 관하여 출원심사의 청구를 할 수 있고, 다만, 제34조 및 제35조에 따른 정당한 권리자의 특허출원, 분할출원 또는 변경출원에 관하여는 그 기간이 지난 후에도 정당한 권리자가 특허출원을 한 날, 분할출원을 한 날 또는 변경출원을 한 날부터 각각 30일 이내에 출원심사 청구를 할 수 있다. 심사청구가 있을 시에 한하여 특허출원을 심사한다.
2017-06-27등록결정 (PE0701)심사관은 특허출원에 대해 거절이유를 발견할 수 없는 경우 특허결정을 해야 한다. 특허결정이 있는 경우 특허청장은 그 특허결정의 등본을 출원인에게 송달해야 한다. 특허결정은 그 결정 등본이 송달된 때에 확정된다.
2016-12-16거절이유통지 (PE0902)심사관은 특허법 제62조(특허거절결정)에 따라 특허거절결정을 하고자 할 때에는 출원인에게 거절이유를 통지하고 기간을 정하여 의견서를 제출할 기회를 주어야 한다. 다만 특허법 제51조(보정각하)에 따라 보정각하결정을 할때는 그러지 아니한다. 심사관이 행하는 거절이유통지는 2종류로 구분되며 그 종류에 따라 출원인이 할 수 있는 명세서 또는 도면의 보정 범위가 다르게 제한된다. 하나는 거절이유통지에 대한 보정에 따라 발생한 거절이유만을 통지하는 거절이유통지(최후거절이유통지)와 다른 하나는 출원인이 처음으로 받거나 최후거절이유통지가 아닌 거절이유통지(최초거절이유통지)를 말한다.
2017-08-04등록공고 (PG1601)특허권은 설정등록에 의해 발생하며 등록이 있는 때는 그 특허에 관하여 특허공보에 게재하여 등록공고를 하여야 한다. 비밀취급을 요하는 특허발명에 대하여는 비밀취급의 해제시까지 등록공고를 보류하며 그 비밀취급이 해제된 때에는 지체없이 등록공고를 하여야 하며 등록공고가 있는 날부터 3월간 출원서류 및 그 부속물건을 공중의 열람에 제공해야 한다.
2017-07-31설정등록 (PR0701)특허권은 설정등록에 의해 발생하며, 특허결정이 된 후 출원인이 특허료를 납부하거나 보전한 경우 또는 추가납부하거나 특허료가 면제된 경우에 특허청장은 특허권을 설정하기 위한 등록을 해야 한다.
2017-07-31등록료납부 (PR1002)특허권의 설정등록을 받으려는 자는 설정등록받으려는 날 부터 3년분의 특허료를 납부한다.특허권의 설정등록을 받고자 하는자 또는 특허권자는 특허료 납부기간이 경과한 후에도 6개월 이내 특허료를 추가 납부할 수 있으며 특허료 추가 납부할 때에는 납부하여야 할 특허료의 2배 이내의 범위에서 납부해야한다. 추가납부기간 이내에 특허료를 납부하지 못한 경우에는 특허권리를 소멸하게 되는데, 이때 특허권자는 추가납부기간 만료일부터 3개월 이내에 특허료의 3배를 납부하고 그 소멸한 권리의 회복을 신청 할 수 있다.
2020-06-23연차료납부 (PR1001)특허법 제87조 1항에 따른 특허권의 설정등록을 받으려는 자는 설정등록을 받으려는 날부터 3년분의 특허료를 납부해야 하는데, 그 다음 연도분부터는 특허료를 해당 권리의 설정등록일에 해당하는 날을 기준으로 일정기간 내에 매년 1년분씩 납부함으로써 특허권을 유지한다. 연차료의 납부기간의 종류는 아래와 같다.정상납부기간(정상납부만료일 이전), 추가납부기간(추가납부안내서 발송 이후 6개월), 회복납부기간(권리소멸 시점부터 3개월 이내)
2022-07-21연차료납부 (PR1001)특허법 제87조 1항에 따른 특허권의 설정등록을 받으려는 자는 설정등록을 받으려는 날부터 3년분의 특허료를 납부해야 하는데, 그 다음 연도분부터는 특허료를 해당 권리의 설정등록일에 해당하는 날을 기준으로 일정기간 내에 매년 1년분씩 납부함으로써 특허권을 유지한다. 연차료의 납부기간의 종류는 아래와 같다.정상납부기간(정상납부만료일 이전), 추가납부기간(추가납부안내서 발송 이후 6개월), 회복납부기간(권리소멸 시점부터 3개월 이내)
2024-06-24연차료납부 (PR1001)특허법 제87조 1항에 따른 특허권의 설정등록을 받으려는 자는 설정등록을 받으려는 날부터 3년분의 특허료를 납부해야 하는데, 그 다음 연도분부터는 특허료를 해당 권리의 설정등록일에 해당하는 날을 기준으로 일정기간 내에 매년 1년분씩 납부함으로써 특허권을 유지한다. 연차료의 납부기간의 종류는 아래와 같다.정상납부기간(정상납부만료일 이전), 추가납부기간(추가납부안내서 발송 이후 6개월), 회복납부기간(권리소멸 시점부터 3개월 이내)
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인용문헌 (3건)
문헌번호 국가 제목 출원인 날짜 유형 KR 20120808 E0801 KR 20120808 E0802 KR 20120808 E0805
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