기술 세부내용열증착 공정을 이용하여 페로브스카이트 광소자 제조 방법 개발
- 열증착 공정을 이용하여 서로 다른 조성을 갖는 복수의 서브층으로 이루어지는 페로브스카이트층을 포함하는 페로브스카이트 광소자를 제조할 수 있는 페로브스카이트 광소자 제조 방법 개발
- 투명 전극의 상면에 홀 수송층을 원자층 증착 공정으로 형성하는 홀 수송층 형성 단계 ,
- 홀 수송층의 상부에 서로 다른 조성을 가지는 적어도 2개의 서브층으로 이루어지는 페로브스카이트층을 열증착 공정으로 형성하는 페로브스카이트층 형성,
- 페로브스카이트층의 상면에 LiF층을 열증착 공정 또는 원자층 증착 공정으로 형성하는 LiF층 형성 단계, LiF층의 상부에 전자 수송층을 원자층 증착 공정으로 형성하는 전자 수송층 형성 단계로 구성
