NRF-TCC : 한국연구재단 기술사업화센터

기술 세부내용 대면적 단결정 산화갈륨 시료 중 체결함 밀도 정량적 평가 방법 개발 - 단결정의 관찰면을 에칭하여 에치핏을 형성하는 단계, 체결함에 의한 사각형의 에치핏을 선별하는 단계를 포함하는 단결정 산화칼륨 시료 중 체결함의 평가 방법 개발 - 3차원 체결함을 간편하게 검출하고, 결함밀도를 평가 - 체결함 밀도 = Σkaibi / 시료의 면적 (0

첨부 파일
12. 단결정 산화갈륨의 결함 평가방법.pdf

지재권 구분 특허
전략기술 분류 전력반도체
특허 출원번호 10-2020-0100775 KIPRIS
IPC 코드 g01n21/95
특허 출원일
특허 등록번호 10-2255421
TRL 단계 3단계(실험실 규모의 기본성능 검증)
연구실 홈페이지