• 요약 알루미늄(Al) 및 안티모니(Sb)를 함유하는 Al-Sb-O계 산화물 반도체는 전기전도도 및 밴드갭이 우수하여 박막 트랜지스터 등에 적용 가능하다.
  • 대표 청구항 알루미늄(Al) 및 안티모니(Sb)를 함유한 산화물을 포함하는, 산화물 반도체.
  • 대표 도면
  • 전략기술 분류 반도체·디스플레이
    전력반도체

  • 출원번호 10-2022-0160818 KIPRIS
  • 출원일 2022-11-25
  • 공개번호 10-2023-0078575
  • 공개일 2023-06-02
  • 등록번호
  • 등록일
  • 우선권 번호 10-2021-0166178
  • 우선권 국가 KR
  • 우선권 주장일 2021-11-26

  • 현재 상태 심사중
  • 현재 권리자
  • IPC 코드 H01L-021/02, C23C-014/08, C23C-014/34, C23C-014/58, H01L-029/786, H01L-029/66, H01L-027/12