NRF-TCC : 한국연구재단 기술사업화센터

요약 본 발명은 플라즈마를 이용하는 불화가스 혼합물 분해 장치 및 방법이 개시된다. 본 발명의 하나의 실시 예에 따른 플라즈마를 이용하는 불화가스 혼합물 분해 장치 및 방법은 상단에 플라즈마 토치가 장착되어 있는 플라즈마 분해 반응기 및 상기 플라즈마 분해 반응기 내부 공간에 상부로부터 하부를 향해 불화가스를 분사하여 가스를 공급하는 가스 공급부를 포함하여 구성된다.

대표 도면

심판 위험 분석 심판 이력 없음

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전략기술 분류 반도체·디스플레이
D1
특허 강도 지표

28

청구항

1

인용

0

패밀리
출원번호 10-2018-0074282 KIPRIS
출원일 2018-06-27
공개번호 10-2020-0001386
공개일 2020-01-06
등록번호
등록일
현재 상태 심사미청구취하
IPC 코드 B01D 53/32; H05H 1/26
대리인 (유)한양특허법인
심사관
원문 보기 KIPRIS 원문