• 요약 본 발명의 목적은 액체에서 풍부한 플라즈마 방전을 일으킬 수 있으면서도 전극의 손상이 완화되어 수명을 길게 할 수 있는 액체 플라즈마 발생장치를 제공하고자 하는 것이다. 상기 목적에 따라 두 개의 막대 전극을 준비하고, 그 중 하나는 주사기 형태의 가는 관에 넣고, 상기 가는 관의 하단 내벽은 나노사이즈의 홈이 다수 형성된 것으로 하고, 두 개의 전극을 액체에 넣고 전압을 인가하되, 가는 관에 들어있는 전극을 고전압 전극으로, 관 없이 액체에 넣어진 전극을 접지전극으로 한 액체 플라즈마 발생장치를 제공하였다.
  • 대표 도면
  • R&D 프로젝트 해외우수연구기관유치사업
  • 심판 위험 분석 심판 이력 없음
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  • 인용문헌

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  • 전략기술 분류 반도체·디스플레이
    D1

  • 특허 강도 지표
    3
    청구항
    6
    인용
    0
    패밀리
    3
    권리이전

  • 출원번호 10-2018-0076281 KIPRIS
  • 출원일 2018-07-02
  • 공개번호 10-2020-0003467
  • 공개일 2020-01-10
  • 등록번호 10-2145-1010000
  • 등록일 2020-08-10

  • 현재 상태 연차료납부

  • IPC 코드 H05H 1/24; C02F 1/48

  • 대리인 주은희
  • 심사관 이민형

  • 원문 보기 KIPRIS 원문