• 요약 본 발명의 목적은 액체에서 상대적으로 방전 전압을 낮추어도 풍부한 플라즈마 방전을 일으킬 수 있으면서 발생된 플라즈마가 축적되어 고밀도화될 수 있고 열효과를 얻을 수 있는 액체 플라즈마 발생장치를 제공하고자 하는 것이다. 상기 목적에 따라 두 개의 막대 전극을 준비하고, 각각의 막대전극을 유전체 관으로 포위하고, 유전체 관으로 포위된 두 개의 전극을 별도의 외부 유전체 관에 넣되, 상기 외부 유전체 관의 하단은 함몰부를 구비하고, 상기 막대전극의 단부는 상기 함몰부를 관통하여 함몰부가 형성하는 기포가둠 공간에 배열되는 것을 특징으로 하는 액체 플라즈마 발생장치를 제공하였다.본 발명의 목적은 액체에서 풍부한 플라즈마 방전을 일으킬 수 있으면서도 전극의 손상이 완화되어 수명을 길게 할 수 있는 액체 플라즈마 발생장치를 제공하고자 하는 것이다.
  • 대표 도면
  • R&D 프로젝트 해외우수연구기관유치사업
  • 심판 위험 분석 심판 이력 없음
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  • 전략기술 분류 반도체·디스플레이
    D1

  • 특허 강도 지표
    3
    청구항
    9
    인용
    0
    패밀리
    3
    권리이전

  • 출원번호 10-2018-0076289 KIPRIS
  • 출원일 2018-07-02
  • 공개번호 10-2020-0003469
  • 공개일 2020-01-10
  • 등록번호 10-2125-1310000
  • 등록일 2020-06-15

  • 현재 상태 연차료납부

  • IPC 코드 H05H 1/24; H05H 1/24

  • 대리인 주은희
  • 심사관 이민형

  • 원문 보기 KIPRIS 원문