NRF-TCC : 한국연구재단 기술사업화센터

요약 본 발명은 하나의 전원 공급부에 병렬로 연결되는 적어도 2개 이상의 플라즈마 발생부를 포함하고, 상기 2개 이상의 플라즈마 발생부는 하나의 접지 전극과 연결되고, 상기 플라즈마 발생부 각각은 고전압 전극, 유전체 장벽 및 흡착 영역을 포함하는 유전체 장벽 플라즈마 발생장치를 제공한다.

대표 도면

R&D 프로젝트 지역혁신센터(열플라즈마_교비적립금)

심판 위험 분석 심판 이력 없음

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인용문헌
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패밀리특허
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전략기술 분류 반도체·디스플레이
D1
특허 강도 지표

7

청구항

7

인용

0

패밀리

6

권리이전
출원번호 10-2018-0086257 KIPRIS
출원일 2018-07-24
공개번호 10-2020-0011319
공개일 2020-02-03
등록번호 10-2118-7400000
등록일 2020-05-28
현재 상태 연차료납부
IPC 코드 H05H 1/24
대리인 이원희
심사관 이민형
원문 보기 KIPRIS 원문