요약플라즈마 발생 장치가 개시된다. 상기 플라즈마 발생 장치는 폴리머 유전체를 포함하며, 제1그룹의 라디칼을 발생시키는 제1 플라즈마 발생부, 세라믹 유전체를 포함하며, 제2그룹의 라디칼을 발생시키는 제2 플라즈마 발생부, 및 상기 제1 플라즈마 발생부 및 상기 제2 플라즈마 발생부가 제공되는 공간이 내부에 형성되고, 상기 공간에서 상기 제1그룹의 라디칼과 상기 제2그룹의 라디칼이 혼합된 혼합 라디칼이 외부로 토출되는 토출구가 형성된 하우징을 포함한다.
