• 요약 본 발명의 목적은 PCB 전극 모듈을 적용하여 생산 단가를 낮추면서도 플라즈마 방전 조건을 안정화시키고 전극 모듈의 수명을 장기화할 수 있는 플라즈마 발생장치를 제공하고자 하는 것이다. 상기 목적에 따라 본 발명은 폴리머 수지로 된 기판에 플라즈마 발생용 전극을 인쇄 회로 배선 기술로 형성한 PCB 전극 모듈을 강화유리, 세라믹, 또는 수정을 포함한 유전체 기판에 자외선 경화 접착제로 접착한 전극 모듈을 제공한다.
  • 대표 청구항
  • 대표 도면
  • 전략기술 분류 차세대 원자력
    선진 원자력시스템, 폐기물관리

  • 출원번호 10-2024-0000000 KIPRIS
  • 출원일 2024-10-18
  • 공개번호 10-2024-0000000
  • 공개일 2024-10-25
  • 등록번호
  • 등록일 1900-01-01
  • 우선권 번호
  • 우선권 국가
  • 우선권 주장일

  • 현재 상태 취하
  • 현재 권리자
  • IPC 코드 H05H 1/24|H05K 3/12|H05K 1/03