요약본 발명은 내플라즈마성 향상을 위한 별도의 코팅 없이도 플라즈마 공정 환경에서 야기되는 물리적 및/또는 화학적 공격에 대하여 향상된 내플라즈마성 및 내구성을 제공하는 동시에 높은 체적 저항 및 열 전도도를 제공할 수 있는 코어/쉘 구조 재료 및 이를 이용한 반도체 제조 장치용 세라믹 부재에 관한 것으로서, 알루미늄 화합물을 포함하는 코어; 및 상기 코어를 적어도 부분적으로 둘러싸며 내플라즈마성 금속 또는 세라믹 화합물을 포함하는 쉘;을 포함하고 상기 코어 및 쉘은 입자들로 구성된 형태를 가지는 코어/쉘 구조 재료, 및 이를 소결하여 형성되는 소결체로서 상기 코어 입자 상들의 계면을 따라 상기 쉘을 구성하는 입자 상들이 연속 상을 형성한 구조를 갖는 반도체 제조 장치용 세라믹 부재를 제공한다.
