- 요약 본 발명의 일 실시예는 광흡수 특성을 갖는 이성분계 칼코지나이드 화합물 박막 및 이의 제조방법을 제공한다. 먼저. 본 발명의 단순하고 저가 제조 공정을 통해, 종래의 제조 공정인 GeSe가 형성된 값비싼 스퍼터링 타겟(Sputtering target)과 분말을 포함한 제조 공정보다 낮은 비용으로 GeSe 박막을 합성하여 향후 상업화 단계에서 생산 비용을 절감할 수 있기 때문에 경제성이 우수하다.
- 대표 청구항
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대표 도면
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전략기술 분류
반도체·디스플레이
반도체 첨단패키징 - 출원번호 10-2024-0000000 KIPRIS
- 출원일 2024-01-08
- 공개번호
- 공개일 2025-03-06
- 등록번호 10-2778-0000000
- 등록일 2025-03-04
- 우선권 번호
- 우선권 국가
- 우선권 주장일
- 현재 상태 등록
- 현재 권리자
- IPC 코드 H10F 77/12|H10F 71/00|H10F 77/20|C25B 11/047
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