- 요약 본 발명의 시냅스 소자는 게이트 전극; 상기 게이트 전극 상에 배치되는 유전층; 상기 유전층 상에 배치되는 채널층; 상기 채널층 상에 배치되고, 산소 공공(oxygen vacancy)을 포함하는 전하 트랩층; 및 상기 전하 트랩층 상에 배치되고 상호 이격된 소스 전극 및 드레인 전극을 포함할 수 있다. 본 발명의 시냅스 소자의 제조 방법은 유전층이 형성된 게이트 전극을 준비하는 단계; 상기 유전층 상에 채널층을 형성하는 단계; 상기 채널층 상에 스퍼터링 공법으로 전하 트랩층을 형성하는 단계; 및 상기 전하 트랩층 상에 소스 전극 및 드레인 전극을 형성하는 단계를 포함할 수 있다.
- 대표 청구항
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대표 도면
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전략기술 분류
반도체·디스플레이
반도체 첨단패키징 - 출원번호 10-2025-0088468 KIPRIS
- 출원일 2025-07-02
- 공개번호 10-2025-0110181
- 공개일 2025-07-18
- 등록번호
- 등록일 1900-01-01
- 우선권 번호
- 우선권 국가
- 우선권 주장일
- 현재 상태 공개
- 현재 권리자
- IPC 코드 H10N 70/20|H10N 70/00|G06N 3/063
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