극초음속 비행체에 활용 가능한, 표면거칠기 제어공정을 포함하는 박막센서 제조방법, 박막센서 및 이를 포함하는 산소원자 발생시스템
계명대학교 산학협력단
김익현
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요약본 발명은 표면거칠기 제어공정을 포함하는 박막센서 제조방법, 박막센서 및 이를 포함하는 산소원자 발생시스템에 관한 것으로, 본 발명의 일 실시예는 충격파의 영향을 측정할 수 있는 충격파관의 일측단에 배치되어 끝벽을 형성하고, 표면 열전달율을 측정하는 박막센서에 있어서, 상기 박막센서는, 표면이 설정된 거칠기로 연마 처리된 기판; 상기 기판의 표면에 설정된 형태로 배치된 복수의 박막금속탭; 및 상기 복수의 박막금속탭을 연결하는 금속 스트립을 포함하는 것을 특징으로 하는, 박막센서를 제공한다.
대표 청구항충격파의 영향을 측정할 수 있는 충격파관의 일측단에 배치되어 끝벽을 형성하고, 표면 열전달율을 측정하는 박막센서에 있어서,상기 박막센서는,표면이 설정된 거칠기로 연마 처리된 기판;상기 기판의 표면에 설정된 형태로 배치된 복수의 박막금속탭; 및상기 복수의 박막금속탭을 연결하는 금속 스트립;을 포함하는 것을 특징으로 하는, 박막센서.
