요약산화물 스퍼터링 타겟은, 금속산화물을 포함하되, 상기 금속산화물은 In 2 O 3 와 GeO 2 만으로 구성되고, 상기 GeO 2 의 함유율은 In 원자, Ge 원자 및 O 원자 함유율의 합계 대비 3~5 중량%일 수 있다. 투명 전도성 산화물 박막은, 금속산화물을 포함하되, 상기 금속산화물은 In 2 O 3 와 GeO 2 만으로 구성되고, 상기 GeO 2 의 함유율은 In 원자, Ge 원자 및 O 원자 함유율의 합계 대비 3 내지 5 중량%일 수 있다. 태양전지는, 상기 투명 전도성 산화물 박막을 투명 전극 또는 전자 수송층으로 가질 수 있고, 페로브스카이트 태양전지, 실리콘 태양전지, 실리콘/페로브스카이트 이중접합 태양전지, 및 페로브스카이트/페로브스카이트 이중접합 태양전지 중 어느 하나일 수 있다.
