• 요약 본 발명은 원형 편광 마이크로파 유도가열 장치에 관한 것으로서, 원형 편광 마이크로파를 공급하는 원형 편광 마이크로파 공급부; 상기 원형 편광 마이크로파 공급부로부터 수신된 원형 편광 마이크로파를 공진하여 원형 편광된 마이크로파 자기장을 생성하고, 상기 원형 편광된 마이크로파 자기장을 이용하여 전도성 소재에 원형 편광된 유도전류를 발생시키는 유전체 공진기; 및 상기 유전체 공진기를 둘러싸도록 배치되며, 상기 원형 편광 마이크로파의 외부 누설을 차단하는 마이크로파 몸체부를 포함한다.
  • 대표 도면
  • R&D 프로젝트 한국전기연구원연구운영비지원(R&D)
  • 심판 위험 분석 심판 이력 없음
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  • 전략기술 분류 반도체·디스플레이
    E1

  • 특허 강도 지표
    20
    청구항
    0
    인용
    1
    패밀리

  • 출원번호 10-2021-0157779 KIPRIS
  • 출원일 2021-11-16
  • 공개번호 10-2023-0071510
  • 공개일 2023-05-23
  • 등록번호
  • 등록일

  • 현재 상태 심사청구

  • IPC 코드 H05B 6/64; H05B 6/70; H05B 6/76

  • 대리인 특허법인충정
  • 심사관

  • 원문 보기 KIPRIS 원문