• 요약 본 발명의 양자점의 무용매 패터닝 방법은 기판을 마련하는 단계, 기판 상에 탄성체 마스크층을 적층하는 단계, 탄성체 마스크층 상에 패턴을 형성하는 단계, 형성된 패턴에 따라 탄성체 마스크층을 선택적으로 제거하는 단계 및, 선택적으로 제거된 탄성체 마스크층 상에 양자점층을 적층하는 단계를 포함한다. 이에 의해 본 발명은 탄성체 마스크층을 적용함으로써 무용매 패터닝 기법으로 고해상도 양자점 패턴을 구현할 수 있다. 본 발명은 (주)LGD와 산학협력 과제 (No. 20191395)의 지원을 받아 수행된 연구임.
  • 대표 도면
  • R&D 프로젝트 개인기초연구(과기정통부)(R&D); 이공학학술연구기반구축
  • 심판 위험 분석 심판 이력 없음
  • 청구항 전체

    탭을 클릭하면 로딩됩니다...

  • 인용문헌

    탭을 클릭하면 로딩됩니다...

  • 패밀리특허

    탭을 클릭하면 로딩됩니다...

  • 권리이전 이력

    탭을 클릭하면 로딩됩니다...

  • 전략기술 분류 반도체·디스플레이
    B1

  • 특허 강도 지표
    13
    청구항
    5
    인용
    0
    패밀리
    5
    권리이전

  • 출원번호 10-2022-0180379 KIPRIS
  • 출원일 2022-12-21
  • 공개번호 10-2024-0098532
  • 공개일 2024-06-28
  • 등록번호 10-2835-8140000
  • 등록일 2025-07-15

  • 현재 상태 등록결정

  • IPC 코드 H10K 30/35; H10F 77/12; H10F 77/14; H10K 30/50

  • 대리인 김종선; 이형석
  • 심사관 정미나

  • 원문 보기 KIPRIS 원문