요약마이크로폰 장치가 개시된다. 마이크로폰 장치는 음향 입력 신호에 따른 압력의 변화를 정전 용량의 변화로 출력하는 MEMS 트랜스듀서 회로, 및 정전 용량의 변화를 전기 신호로 변환하여 출력하는 판독 집적 회로(readout integrated chip; ROIC)를 포함할 수 있다. 트랜스듀서 회로는 음향 입력 신호에 따른 압력의 변화를 정전 용량의 변화로 출력하는 제1 가변 커패시터 소자를 포함할 수 있다. 제1 가변 커패시터 소자의 일단은 판독 집적 회로에 연결되고, 제1 가변 커패시터 소자의 타단은 그라운드(ground, GND)에 연결될 수 있다.
