요약콤전극을 이용한 정전력 광스캐너에서 콤사이의 간격이 좁아지면서 발생하는 방전 문제는 가장 심각한 문제중의 하나이다. 따라서 구동 방향인 미러의 회전 방향 (torsional)을 제외한 다른 공진 모드 주파수는 가능한 높아야 하며, 특히, 요잉 (yawing) 모드는 콤전극 사이의 간격이 좁아지는 방향으로 움직임이 일어나기 때문에 멤스 광스캐너를 설계할 때 가장 주의해야 한다. 본 발명은 멤스 미러의 구동 안정성을 개선하기 위한 스프링 구조에 관한 것으로, 요잉 공진주파수를 일정 값 이상으로 올리기 위한 스프링 구조를 제안하고, 이를 위한 설계방법으로 위상최적화 기법을 도입할 수 있다.
