다층 구조의 초박막 히터를 포함하는 디스플레이 제조방법 및 이를 포함하는 디스플레이, 디바이스
서울대학교산학협력단
고승환, 김현석, 최준화
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요약본 발명은 기판 상에 절연성 유기물질 용액을 도포하고 코팅 및 경과하여 초박막 기판을 형성시키는 단계, 레이저 광을 조사하여 금속 나노입자 코팅을 수행하는 단계, 레이저 광을 이용하여 금속 나노와이어 제1 패터닝을 수행하는 단계, 상기 제1 패터닝 후에 절연성 유기물질 용액을 코팅 및 경화하여 제1 전기적 절연층 형성시키는 단계, 상기 기판 상에 통로인 적어도 하나 이상의 비아홀(Vertical Interconnect access, VIA)를 형성시키는 단계, 레이저 광을 이용하여 금속 나노입자 코팅 및 금속 나노와이어 제2 패터닝을 수행하는 단계 및 상기 제2 패터닝 이후에 절연성 유기물질 용액을 코팅 및 경화하여 제2 전기적 절연층 형성시키는 단계;를 포함하는, 다층 구조의 초박막 히터를 포함하는 디스플레이 제조방법을 제공한다.
대표 청구항기판 상에 절연성 유기물질 용액을 도포하여 초박막 기판을 형성시키는 단계;상기 기판 상에 금속 나노입자를 코팅하는 단계;상기 금속 나노입자 상에 레이저를 조사하여 제1 패터닝을 수행하는 단계;상기 제1 패터닝 후에 절연성 유기물질을 이용하여 제1 전기적 절연층을 형성시키는 단계;상기 기판 상에 통로인 적어도 하나 이상의 비아홀(Vertical Interconnect access, VIA)를 형성시키는 단계;레이저 광을 이용하여 금속 나노입자 코팅 및 금속 나노와이어 제2 패터닝을 수행하는 단계; 및상기 제2 패터닝 이후에 절연성 유기물질 용액을 코팅 및 경화하여 제2 전기적 절연층을 형성시키는 단계;를 포함하여 발열 히터를 제조하고,상기 발열 히터의 특정 영역 상에 열변색성 수지를 코팅하는 단계;를 더 포함하는, 다층 구조의 초박막 히터를 포함하는 디스플레이 제조방법.
