NRF-TCC : 한국연구재단 기술사업화센터

요약 본 발명은 MEMS형 온도 센서 소자, 체온 센싱 시스템, 및 MEMS형 온도 센서 소자의 제조방법을 개시한다. 그의 소자는 기판과, 상기 기판 가장자리 아래의 하부 센서와, 상기 하부 센서 내의 상기 중심 아래의 히터 전극와, 상기 기판 가장자리 상의 상부 센서를 포함한다.

대표 도면

R&D 프로젝트 나노소재기술개발

심판 위험 분석 심판 이력 없음

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전략기술 분류 반도체·디스플레이
E1
특허 강도 지표

13

청구항

0

인용

0

패밀리
출원번호 10-2023-0078113 KIPRIS
출원일 2023-06-19
공개번호 10-2024-0058750
공개일 2024-05-03
등록번호
등록일
현재 상태 출원공개
IPC 코드 G01K 7/01; G01K 7/02; G01K 13/20; A61B 5/01; B81C 1/00
대리인 특허법인고려
심사관
원문 보기 KIPRIS 원문