요약본 발명의 목적은 기판 상에 나노갭을 형성하고, 나노갭을 이용하여 비접촉 방식으로 미량의 수소 가스 누출을 감지할 수 있도록 하는 나노갭 기반의 수소 센서 및 그 제조 방법을 제공함에 있다. 상기 목적을 달성하기 위해, 본 발명은 웨이퍼 상에 금속 나노슬롯 패턴을 형성하여 제작된 메타물질; 상기 메타물질 표면 위에 증착되어 상기 금속 나노슬롯 내부에 나노갭을 형성시키는 촉매층; 및 상기 촉매층 위에 형성되어 상기 촉매층을 보호하는 보호층;을 포함하는 것을 특징으로 한다.
