• 요약 가스 센서, 가스 센서 제조 방법 및 에탄올 센싱 장치가 개시된다. 상기 가스 센서는 기판; 상기 기판 상에 형성된 센싱부; 및 상기 센싱부에 접촉하고, 서로 이격되어 형성된 제1 전극; 및 제2 전극;을 포함하고, 상기 센싱부는, 금속 산화물; 및 상기 금속 산화물 상에 형성된 루테늄 산화물 나노시트를 포함할 수 있다.
  • 대표 도면
  • R&D 프로젝트 개인기초연구(과기정통부); 집단연구지원
  • 심판 위험 분석 심판 이력 없음
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  • 인용문헌

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  • 전략기술 분류 반도체·디스플레이
    E1

  • 특허 강도 지표
    15
    청구항
    9
    인용
    0
    패밀리

  • 출원번호 10-2023-0166521 KIPRIS
  • 출원일 2023-11-27
  • 공개번호 10-2025-0079401
  • 공개일 2025-06-04
  • 등록번호
  • 등록일

  • 현재 상태 출원공개

  • IPC 코드 G01N 27/12; G01N 33/00; G01N 33/98

  • 대리인 차상윤; 정지향; 남건필
  • 심사관

  • 원문 보기 KIPRIS 원문