• 요약 본 발명은 다단구조체 제조 방법과, 그 제조 방법에 사용되는 마스크 및 스탬프와, 그 제조 방법에 의해 제조된 다단구조체에 관한 것으로서, 보다 상세하게는, 둘 이상의 다른 높이 또는 깊이를 갖는 나노-마이크로 스케일의 다단구조체를 나노임프린트 방법을 이용하여 제조하는 방법과, 그 제조 방법에 사용되는, 둘 이상의 상이한 크기의 개구들을 가지는 마스크와, 그 제조 방법에 사용되는, 둘 이상의 상이한 깊이의 오목부들을 가지는 스탬프와, 그 제조 방법에 의해 제조된, 둘 이상의 상이한 높이의 볼록부들을 가지는 다단구조체에 관한 것이다.
  • 대표 도면
  • R&D 프로젝트 차세대실감콘텐츠저작권핵심기술개발; 기계장비산업기술개발
  • 심판 위험 분석 심판 이력 없음
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  • 전략기술 분류 수소
    A1

  • 특허 강도 지표
    15
    청구항
    9
    인용
    0
    패밀리

  • 출원번호 10-2023-0172133 KIPRIS
  • 출원일 2023-12-01
  • 공개번호 10-2025-0083675
  • 공개일 2025-06-10
  • 등록번호
  • 등록일

  • 현재 상태 출원공개

  • IPC 코드 G03F 7/00; G03H 1/02

  • 대리인 특허법인(유)화우
  • 심사관

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