A Semiconductor Substrate for manufacturing a power semiconductor, A Manufacturing method thereof and A manufacturing method of a power semiconductor device using the same
요약실시예는 전력반도체 제조용 반도체 기판, 이의 제조방법 및 이를 이용한 전력반도체 소자의 제조방법에 관한 것이다. 실시예에 따른 전력반도체 제조용 반도체 기판의 제조방법은, 오프 컷(off-cut)된 모재 기판을 준비하는 단계와, 상기 모재 기판 상에 그래핀층과 카본 비 단결정층을 형성하는 단계 및 상기 그래핀층을 상기 카본 비 단결정층으로부터 분리하는 단계를 포함할 수 있다. 또한 실시예에 따른 전력반도체 제조용 반도체 기판은, 오프 컷(off-cut)된 모재 기판 및 상기 모재 기판 상에 형성된 카본 비 단결정층을 포함할 수 있다.
