NRF-TCC : 한국연구재단 기술사업화센터

요약 본 발명은 마이크로 웨이퍼 프로브, 마이크로 웨이퍼 프로브의 전기적 특성 측정 장치를 이용한 웨이퍼의 전기적 특성 장치 및 그 방법에 관한 것으로, 특히 접촉력 제어 기능이 개선된 마이크로 웨이퍼 프로브에 관한 것이다. 본 발명에 따른 마이크로 웨이퍼 프로브는 마이크로 프로브 팁(10), 프로브 팁 헤드부(12), 제어부재(30) 및 모니터링부(20)를 포함할 수 있다.

대표 도면

R&D 프로젝트 산학협력고도화지원

심판 위험 분석 심판 이력 없음

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전략기술 분류 수소
A1
특허 강도 지표

4

청구항

6

인용

0

패밀리

7

권리이전
출원번호 10-2025-0010012 KIPRIS
출원일 2025-01-23
공개번호
공개일
등록번호 10-2891-3380000
등록일 2025-11-21
현재 상태 등록
IPC 코드 G01R 1/067; H10P 74/00
대리인 김민규
심사관 오경환
원문 보기 KIPRIS 원문