요약투명층 센싱 시스템으로서, 베이스 위에 투명층이 형성된 타겟 샘플로 광 펄스를 조사하고 상기 타겟 샘플에서 반사된 광 신호를 수득하는 센서 헤드, 기준 신호와 상기 광 신호의 타이밍 오차에 해당하는 전기 신호를 출력하는 타이밍 검출기, 상기 광 신호의 파장에 따른 광 신호 세기를 측정하는 광 스펙트럼 측정기, 그리고 상기 광 신호 세기의 주기성 분석을 통해 상기 투명층의 두께를 측정하고, 상기 전기 신호에 관련된 상기 광 신호의 비행 시간 정보, 그리고 상기 투명층의 두께 및 굴절률을 이용하여 상기 타겟 샘플의 베이스 높이 변화를 계산하도록 구현된 컴퓨팅 장치를 포함한다.
