요약본 발명은 플로팅 프로브를 이용한 실시간 라디오 주파수 플라즈마 퍼텐셜 파형 측정 시스템 및 그 방법에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 프로세스 챔버에 플로팅 프로브 설치시 존재하는 기생 커패시턴스를 측정한 후, 상기 기생 커패시턴스 성분을 고려하여 오실로스코프를 통해 측정된 플라즈마 퍼텐셜 데이터에 절대크기까지 포함한 플라즈마 퍼텐셜 파형 출력이 가능한 플로팅 프로브를 이용한 실시간 라디오 주파수 플라즈마 퍼텐셜 파형 측정 시스템 및 그 방법을 제공한다.
