요약본 개시는 식각 장치를 제어하는 방법 및 그것을 수행하는 전자 장치에 관한 것으로, 본 개시의 실시 예에 따른 다단 레이어를 포함하는 적층형 구조체로부터 계단형 구조체를 형성하기 위하여 식각 공정을 수행하는 식각 장치 제어 방법은 상기 적층형 구조체에 대한 적층 구조 정보를 확인하는 단계, 상기 적층 구조 정보에 포함된 상기 적층형 구조체의 단 수(number of layer)를 기반으로 상기 적층형 구조체에 대응하는 적어도 하나의 레벨 연산 결과를 도출하는 단계, 상기 적어도 하나의 레벨 연산 결과에 대응하는 공정 순서 정보 중 어느 하나를 선택하는 단계 및 상기 선택된 공정 순서 정보를 기반으로 식각 장치를 제어하는 단계를 포함할 수 있다.
