• 요약 본 발명은 이온 트랩 장치를 개시한다. 상기 이온 트랩 장치는, 제1 마스크 층, 상기 제1 마스크 층 상의 필터 보드 층, 상기 필터 보드 층 상에 배치되고, 복수의 전극 라인을 포함하는 복수의 전극 층 및 상기 복수의 전극 층 상의 제2 마스크 층을 포함하고, 상기 필터 보드 층은, 상기 제1 마스크 층, 상기 복수의 전극 층 및 상기 제2 마스크 층과 대응되는 이온 트랩 영역 및 상기 이온 트랩 영역을 감싸는 수동 소자 영역을 포함하고, 상기 수동 소자 영역은 복수의 저항 및 복수의 커패시터를 포함한다.
  • 대표 청구항
  • 대표 도면
  • 전략기술 분류 반도체·디스플레이
    차세대 고성능센서

  • 출원번호 10-2025-0150969 KIPRIS
  • 출원일 2025-10-17
  • 공개번호 10-2025-0157478
  • 공개일 2025-11-04
  • 등록번호
  • 등록일 1900-01-01
  • 우선권 번호
  • 우선권 국가
  • 우선권 주장일

  • 현재 상태 공개
  • 현재 권리자
  • IPC 코드 H01J 49/42|H01J 49/02