요약본 발명의 일 실시예에 따르면, 측정 대상 소자가 제공되는 진공 챔버; 상기 측정 대상 소자에 방사선을 조사하는 방사 부재; 상기 진공 챔버 외부의 측정 부재를 상기 측정 대상 소자와 전기적으로 연결하는 배선부; 및 상기 진공 챔버 일측에 제공되어 상기 진공 챔버 내부의 진공 상태를 유지하며 상기 진공 챔버 내부로 상기 배선부를 제공하는 피드 어댑터를 포함하고, 상기 배선부는 상기 측정 대상 소자에 전력을 공급하는 동시에, 상기 방사 부재로부터 방사된 방사선에 노출되었을 때의 상기 측정 대상 소자의 전기적 특성 변화를 상기 측정 장치로 송출하는, 소자 성능 측정 장치가 제공된다.
