• 요약 본 발명에 따른 박막 구조체의 제조 방법은, 황을 포함하는 유기 리간드 용액을 준비하는 단계, 상기 유기 리간드 용액에 제1 금속을 포함하는 제1 금속 소스를 제공하고 혼합하여 제1 금속 소스 용액을 제조하는 단계, 상기 유기 리간드 용액에 제2 금속을 포함하는 제2 금속 소스를 제공하고 혼합하여 제2 금속 소스 용액을 제조하는 단계, 상기 제1 금속 소스 용액 및 상기 제2 금속 소스 용액을 혼합하여, 박막 소스 용액을 제조하는 단계, 및 상기 박막 소스 용액을 기판 상에 코팅하여 상기 제1 금속, 상기 제2 금속, 및 상기 황을 포함하는 박막을 형성하는 단계를 포함할 수 있다.
  • 대표 청구항
  • 대표 도면
  • 전략기술 분류 반도체·디스플레이
    고성능, 저전력 인공지능 반도체

  • 출원번호 10-2025-0048756 KIPRIS
  • 출원일 2025-04-15
  • 공개번호 10-2025-0154252
  • 공개일 2025-10-28
  • 등록번호
  • 등록일 1900-01-01
  • 우선권 번호
  • 우선권 국가
  • 우선권 주장일

  • 현재 상태 공개
  • 현재 권리자
  • IPC 코드 C09D 1/00|B05D 1/00|H10F 71/00|H10F 77/12