요약플라즈마 원자층 증착법(Plasma-enhanced Atomic layer deposition, PEALD)을 이용하여 절삭 공구에 박막을 형성하는 방법은 챔버 내로 전구체를 주사하는 제 1 단계, 상기 챔버 내로 제 1 불활성 기체를 퍼지하는 제 2 단계, 상기 챔버 내로 반응체를 주사하여 절삭 공구에 질화티타늄(TiN) 박막을 형성하는 제 3 단계, 및 상기 챔버 내로 제 2 불활성 기체를 퍼지하는 제 4 단계를 포함한다.
대표 청구항플라즈마 원자층 증착법(Plasma-enhanced Atomic layer deposition, PEALD)을 이용하여 절삭 공구에 박막을 형성하는 방법에 있어서,챔버 내로 전구체를 주사하는 제 1 단계;상기 챔버 내로 제 1 불활성 기체를 퍼지하는 제 2 단계;상기 챔버 내로 반응체를 주사하여 절삭 공구에 질화티타늄(TiN) 박막을 형성하는 제 3 단계; 및상기 챔버 내로 제 2 불활성 기체를 퍼지하는 제 4 단계를 포함하는 것인, 박막 형성 방법.
