플라즈마를 사용한 기판의 표면 처리 방법

건국대학교 글로컬산학협력단
김태웅; 손호동; 원상호
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기술도입 상담신청
  • 요약 본원은 기판의 표면 처리 방법에 대한 것이다.
  • 대표 청구항
  • 대표 도면
  • 전략기술 분류 차세대 원자력
    선진 원자력시스템, 폐기물관리
  • 출원번호 10-2024-0098781 KIPRIS
  • 출원일 2024-07-25
  • 공개번호
  • 공개일 2025-10-17
  • 등록번호
  • 등록일 2025-10-15
  • 우선권 번호 1028733050000
  • 우선권 국가
  • 우선권 주장일
  • 현재 상태 등록
  • 현재 권리자
  • IPC 코드 H01L 21/02|H10F 10/17|H10F 77/12

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