요약반도체성 단일벽 탄소나노튜브를 갖는 감지층을 포함하는 저항형 수소센서 및 그의 제조방법이 개시된다. 상기 수소센서는 기판; 상기 기판 상에 형성되고, 반도체성 단일벽 탄소나노튜브(single-wall carbon nanotube, SWCNT)를 포함하는 감지층; 및 상기 감지층 상에 상기 기판과 마주하는 방향의 반대 방향에 형성되거나 또는 상기 감지층과 상기 기판 사이에 형성되고, 서로 이격되어 형성된 전극;을 포함함으로써 수소 4 부피% 농도의 수소 가스에 대하여 수소 부존재 시와 비교하여 5 % 이상의 민감도와 2 초 이하의 응답속도를 가지며, 저온 구동이 가능한 효과가 있다.
대표 청구항기판;상기 기판 상에 형성되고, 반도체성 단일벽 탄소나노튜브(single-wall carbon nanotube, SWCNT)를 포함하는 감지층; 및상기 감지층 상에 상기 기판과 마주하는 방향의 반대 방향에 형성되거나 또는 상기 감지층과 상기 기판 사이에 형성되고, 서로 이격되어 형성된 전극;을포함하는 수소 가스를 검출하기 위한 수소센서.
