NRF-TCC : 한국연구재단 기술사업화센터

요약 본 발명에 따른 실시예에 따른 반도체 소자는 버퍼 패턴, 상기 버퍼 패턴 상의 도전 패턴 및 상기 버퍼 패턴과 상기 도전 패턴 사이의 산화물 반도체 패턴을 포함한다. 상기 버퍼 패턴은 하프늄 산화물, 지르코늄 산화물 및 알루미늄 산화물 중 적어도 하나 이상을 포함한다. 상기 산화물 반도체 패턴의 평균 결정립 크기(mean grain size)는 10 nm 내지 17 nm이다.

대표 청구항

대표 도면

전략기술 분류 수소
수소 기타
출원번호 10-2024-0065351 KIPRIS
출원일 2024-05-20
공개번호 10-2025-0135666
공개일 2025-09-15
등록번호
등록일 1900-01-01
우선권 번호
우선권 국가
우선권 주장일
현재 상태 공개
현재 권리자
IPC 코드 H10D 30/67|H10D 62/80|H10B 12/00