NRF-TCC : 한국연구재단 기술사업화센터

요약 본 발명은 고주파 구동 고속 진단 정전기 탐침 시스템 및 그 방법에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 프로브(탐침)에 고주파 바이어스 전압을 위상을 변환하면서 인가하여 측정된 다수의 전류 파형 데이터를 평균화 후 기설정된 방법론에 따라 처리 후, 피팅 함수를 이용함으로써 고임피던스 초크 필터 없이 플라즈마의 특성에 대하여 고속으로 진단이 가능한 고주파 구동 고속 진단 정전기 탐침 시스템 및 그 방법을 제공한다.

대표 청구항

대표 도면

전략기술 분류 차세대 원자력
선진 원자력시스템, 폐기물관리
출원번호 10-2024-0158472 KIPRIS
출원일 2024-11-08
공개번호
공개일 2025-07-15
등록번호
등록일 2025-07-10
우선권 번호 1028345390000
우선권 국가
우선권 주장일
현재 상태 등록
현재 권리자
IPC 코드 G01R 1/067|G01R 29/12|G01R 23/12|G01R 23/16|G01R 19/00|G01R 19/30|G01R 19/12|G01R 19/08|G01R 19/165|H01J 37/32