기술 세부내용▷전도성 필라멘트 기반 가스 센서 및 이를 이용한 가스 센싱방법이 제공된다.
▷전도성 필라멘트 기반 가스 센서는, 서로 이격되는 소스 전극 및 드레인 전극과, 소스 전극 및 드레인 전극에 접촉되고 적어도 일부가 외부로 노출되며 소스 전극 및 드레인 전극에 인가되는 전압에 의해 내부 및 표면에 소스 전극 및 드레인 전극을 전기적으로 연결시키는 전도성 필라멘트가 형성되도록 구성되는 절연층을 포함한다.
▷전도성 필라멘트 기반 가스 센서는, 절연층의 노출부에 접촉되는 기체 입자에 의해 전도성 필라멘트의 전기전도도가 변화됨에 따라 기체 입자의 농도를 감지하도록 구성된다.
