기술 세부내용
지그재그 형상의 단면을 갖는 요철 구조의 시드층을 기판 상에 적층하고, 기판과 시드층을 연속적으로 연결하는 캐비티를 가지며, 시드층으로부터 반도체층을 성장시킨 반도체 구조체를 제공한다.
본 발명은 반도체 구조체 및 그 제조방법에 관한 것으로, 본 발명에 따른 반도체 구조체는 일면에 다수의 돌기(11)가 서로 이격되어 요철(凹凸)이 형성된 기판(10),
기판(10)의 일면에 배치되되, 단면이 돌기(11)의 자유단을 감싸면서 단차를 두고 측방으로 절곡 연장된 지그재그 형태의 요철(凹凸) 구조로 형성되고,
기판(10)의 요부(凹部, 13)에 공동(void, V)을 형성하는 시드층(20), 및 시드층(20) 중 돌기(11)를 감싸는 철부(凸部, 21)의 외면으로부터 성장된 반도체층(30)을 포함한다.
