기술 세부내용본 발명 항공기용 부품의 질화 포텐셜 제어되는 열처리 장치의 질소공급부(50)는, 액화상태의 질소가 보관되어 장입부(20)로 질소가스를 공급하며, 장입부(20)의 사이에는 질소공급라인(L1)이 구비된 질소탱크(510)와, 질소탱크(510)에서 보관된 질소를 장입부(20)로 공급하며, 질소탱크(510)와 연결된 질소공급라인(L1)에 구비된 공급펌프(P)와, 공급펌프(P) 다음의 질소공급라인(L1)에 구비되며, 공급되는 질소가스량이 적정한 양이 되도록 조절하는 질소레귤레이터(520)와, 질소레귤레이터(520) 다음의 질소공급라인(L1)에 구비되며, 질소공급라인(L1)을 개폐하는 전기식 질소밸브(530)와, 전기식 질소밸브(530) 다음의 질소공급라인(L1)에 구비되며, 질소공급라인(L1)의 개도량을 조절하는 기계식 질소밸브(540)와, 기계식 질소밸브(540) 다음의 질소공급라인(L1)에 구비되고, 질소가스에 포함되어 있는 이물질을 제거하는 이물질 제거장치(550)와, 이물질 제거장치(550) 다음의 질소공급라인(L1)에 구비되며, 이물질 제거장치(550)에서 제거되지 못하고 잔존하는 이물질을 추가로 제거하는 필터(560)와, 필터(560) 다음의 질소공급라인(L1)에 구비된 유량계(G)와, 유량계(G) 다음의 질소공급라인(L1)에 구비된 삼방향밸브(570)를 포함하는 것을 요지로 한다.
