NRF-TCC : 한국연구재단 기술사업화센터

기술 세부내용 딥러닝을 이용한 2단계 반도체 공정 설비 이상 감지 방법 및 시스템이 개시된다. 일 실시예에 따른 이상 감지 시스템에 의해 수행되는 반도체 공정 설비 이상 감지 방법은, 반도체 공정 설비의 특정 센서를 통해 시계열 기반의 센서 데이터를 취득하는 단계; 제1 이상 탐지 모델을 통해 상기 취득된 시계열 기반의 센서 데이터로부터 반도체 공정 설비의 이상 여부를 판단하는 단계; 상기 시계열 기반의 센서 데이터가 이상으로 판단될 경우, 상기 취득된 시계열 시계열 기반의 센서 데이터에 대해 이미지 데이터를 생성하는 단계; 및 상기 제2 이상 탐지 모델을 통해 상기 생성된 이미지 데이터로부터 이상 유형을 분류하는 단계를 포함할 수 있다.

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지재권 구분 특허
전략기술 분류 산업활용, 혁신 AI
특허 출원번호 10-2024-0101414 KIPRIS
IPC 코드
특허 출원일
특허 등록번호
TRL 단계
연구실 홈페이지 https://sites.google.com/inha.ac.kr/orail