요약플라즈마 진단용 박막형 초고주파 진단기는 플라즈마가 발생하는 공간으로 위치하여 플라즈마를 진단하고, 베이스 기판 및 전극유닛을 포함한다. 상기 전극유닛은 상기 베이스 기판 상에 형성되고, 신호선부 및 접지라인을 포함한다. 상기 신호선부는 상기 플라즈마가 발생하는 공간에 노출되며 신호를 검출하는 송수신부, 및 상기 송수신부로부터 연장되어 외부로 검출 신호를 전달하는 신호라인을 포함한다. 상기 접지라인은 상기 신호선부와 이격되도록 상기 신호선부가 형성된 베이스 기판의 면(面)과 동일한 면(面)에 형성되며, 상기 신호선부의 연장 방향을 따라 연장된다.
